4.4.1 金属封装材料
金属封装材料具有机械强度较高、散热性能优良等优点。传统的金属封装材料有Cu、A1、Mo、Ti、W、Kovar、Invar及W/Cu和Mo/Cu合金。金属封装材料有Al、Cu、Ti、W、Mo等。Al虽然轻,热导率高,易加工,价格低,但是CTE(热膨胀系数)很高,约是20×10-6K-1;而Cu除了密度大外,它的CTE也很高。而Kovar和Invar合金的CTE虽然较低,但TC非常低,密度较高。可伐合金(Kovar,一种Fe-Co-Ni合金)和因瓦合金(Invar,一种Fe-Ni合金)的热膨胀系数低,与Si和GaAs相近,但这两种材料热导率低、密度高、刚度低,作为航空电子封装材料是不适宜的。Mo、W虽然有较为理想的CTE值,但是导热性能不如Al和Cu,密度是Al的3~4倍,且与Si的浸润性不好。钼、钨及随之发展的钨铜、钼铜、铜因瓦铜、铜钼铜合金在热传导方面优于可伐合金,但其质量比可伐合金大。