2.5 本章小结

本章首先介绍了金刚石超精密切削单晶硅的切削机理，计算出了金刚石超精密加工的最小切削深度；接着介绍了有限元法的基本思想和计算流程；由于金刚石超精密切削是多重非线性问题，列出了Marc求解非线性的几种方法，本书选用的是Newton-Raphson迭代方法；在掌握了超精密切削理论、有限元流程和非线性有限元理论的基础上，利用大型商业有限元软件Marc，建立了金刚石超精密切削单晶硅的二维有限元仿真模型。